प्रयोगशाला निर्माण अंतरिक्ष के तापमान और आर्द्रता मुख्य रूप से प्रक्रिया आवश्यकताओं के अनुसार निर्धारित होते हैं, लेकिन प्रक्रिया आवश्यकताओं को पूरा करते समय मानव सुविधा स्तर को ध्यान में रखा जाना चाहिए । हवा की सफाई आवश्यकताओं के सुधार के साथ, इस प्रक्रिया के तापमान और आर्द्रता के लिए एक तेजी से सख्त मांग की गई है । तापमान के लिए विशिष्ट प्रक्रिया आवश्यकताओं को बाद में सूचीबद्ध किया जाएगा, लेकिन एक सामान्य सिद्धांत के रूप में, तेजी से बेहतर प्रसंस्करण सटीकता के कारण, तापमान अस्थिरता सीमा के लिए आवश्यकताओं छोटे और छोटे हो रही है.
उदाहरण के लिए, बड़े पैमाने पर एकीकृत सर्किट उत्पादन के लिथोग्राफी जोखिम प्रक्रिया में, थर्मल विस्तार में अंतर कांच और सिलिकॉन वेफर के बीच गुणांक के रूप में एक मुखौटा सामग्री के लिए छोटे और छोटे होने की आवश्यकता है । १०० उम व्यास सिलिकॉन वेफर, 1 डिग्री के तापमान में वृद्धि, यह 0.24 उम के एक रैखिक विस्तार का कारण बना, यह ± ०.१ डिग्री का एक निरंतर तापमान होना चाहिए, जबकि आवश्यक नमी मूल्य आम तौर पर कम है, क्योंकि लोगों के पसीने, उत्पाद प्रदूषित हो जाएगा, में विशेष रूप से सोडियम अर्धचालक कार्यशाला का डर है, इस कार्यशाला का तापमान 25 डिग्री से अधिक नहीं होना चाहिए, अत्यधिक आर्द्रता की समस्या उत्पन्न अधिक समस्याओं. जब सापेक्ष आर्द्रता ५५% से अधिक है, तो संघनित्र ठंडा पानी पाइप दीवार पर बनेगी । यदि यह एक परिशुद्धता डिवाइस या सर्किट में होता है, यह विभिन्न दुर्घटनाओं का कारण होगा.
दबाव विनियम
सबसे साफ कमरे के लिए, यह आंतरिक दबाव (स्थिर दबाव) बाहरी दबाव (स्थिर दबाव) से अधिक बाहरी संदूषण की घुसपैठ को रोकने के लिए बनाए रखने के लिए आवश्यक है । दबाव अंतर के रखरखाव आम तौर पर निंनलिखित सिद्धांतों को पूरा करना चाहिए:
1. साफ जगह का दबाव न साफ जगह के दबाव से अधिक है.
2. उच्च सफाई के स्तर का दबाव अगल-बगल कम सफाई स्तर के दबाव से अधिक है ।
प्रेशर डिफरेंस का रखरखाव ताजी हवा की मात्रा पर निर्भर करता है जो इस प्रेशर डिफरेंस के तहत गैप से हवा टपक की मात्रा की भरपाई कर सकती है । तो दबाव अंतर का शारीरिक अर्थ रिसाव (या प्रवेश) के लिए प्रतिरोध है जब हवा की मात्रा साफ कमरे में विभिंन अंतराल के माध्यम से गुजरता है ।
स्वच्छ कक्ष में वायु गति विनियम
यहां चर्चा की जाने airflow गति cleanroom में airflow गति को दर्शाता है । विशेष उपकरणों पर चर्चा करते समय अन्य cleanrooms में airflow गति पर चर्चा की जाती है ।
अशांत स्वच्छ कमरे के लिए मुख्य रूप से हवा के कमजोर पड़ने पर मुख्य रूप से निर्भर इनडोर प्रदूषण की डिग्री को कम करने के लिए, हवा में परिवर्तन की संख्या की अवधारणा को मुख्य रूप से उपयोग किया जाता है बजाय सीधे गति की अवधारणा का उपयोग कर, लेकिन वहां भी कर रहे है निंनलिखित इनडोर हवा की गति के लिए आवश्यकताओं;
(१) एयर आउटलेट के आउटलेट पर वायु का वेग बहुत बड़ा नहीं होना चाहिए. एक साधारण वातानुकूलित कमरे के साथ तुलना में, यह तेजी से गति क्षीणन और एक बड़ा प्रसार कोण की आवश्यकता है ।
(2) हवा का प्रवाह वेग (उदाहरण के लिए, पक्ष खिला के समय में संचलन गति) कि क्षैतिज विमान पर उड़ा दिया है बहुत बड़ा नहीं होना चाहिए, ताकि हवा के प्रवाह को वापस करने के लिए सतह कणों को उड़ाने के लिए नहीं और कारण पुनः संदूषण । इस गति आम तौर पर के रूप में बड़े होने की सिफारिश नहीं की है ०.२ मी ।
समानांतर प्रवाह स्वच्छ कमरे के लिए "सामांयतः लामिना स्वच्छ कक्ष के रूप में निर्दिष्ट", पार की गति खंड एक बहुत महत्वपूर्ण तथ्य यह है कि पिस्टन मुख्य रूप से हवा के प्रवाह के लिए प्रयोग किया जाता है रंगाई बाहर के कारण संकेतक है । अतीत में, संदर्भ संयुक्त राज्य अमेरिका 20gB मानक बनाया गया था और ०.४५ इस्तेमाल किया गया था । मी. लेकिन लोगों ने यह भी सीखा है कि इतनी बड़ी स्पीड के लिए जरूरी वेंटिलेशन की मात्रा बहुत बड़ी होती है । ऊर्जा बचाने के लिए वे हवा की गति को कम करने की व्यवहार्यता की भी मांग कर रहे हैं ।
चीन में, दोनों एयर Cleantech उपायों और Cleanroom डिजाइन कोड है
अनुलंब समानांतर प्रवाह (लामिना प्रवाह) स्वच्छ कक्ष ≥ 0.25 m/
क्षैतिज समानांतर प्रवाह (लामिना प्रवाह) स्वच्छ कक्ष ≥ ०.३५ मी/
शोर नियंत्रण
स्वच्छ प्रयोगशाला निर्माण के लिए शोर मानकों आम तौर पर स्वास्थ्य के संरक्षण के लिए उन से सख्त हैं । इसका उद्देश्य यह सुनिश्चित करना है कि संचालन सामान्य रूप से किया जाए और आवश्यक संवादी संपर्क और एक सुरक्षित और आरामदायक कार्य वातावरण मिले. इसलिए, एक साफ कमरे में शोर का मुख्य सूचक है ।
1. परेशानी का असर
शोर के कारण लोग असहज महसूस करते हैं और परेशानी भावनाओं को झेलनी पड़ती है । वे आम तौर पर बहुत शांत, शांत, शांत, थोड़ा शोर, अपेक्षाकृत शोर और बहुत शोर में विभाजित हैं । जहां प्रतिक्रिया के स्तर पर बहुत शोर है और बहुत शोर, यह उच्च चिंता है, और कुल संख्या में परेशानियों के उच्च संख्या का प्रतिशत उच्च चिंता की दर है ।
2. कार्य कुशलता पर प्रभाव
यह मुख्य रूप से तीनों क्षेत्रों में प्रतिक्रिया के स्तर पर निर्भर करता है । ये तीन पहलू हैं: एकाग्रता, कार्रवाई की सटीकता, और काम की गति;
3. एकीकृत संचार के साथ हस्तक्षेप